X、Y、Z轴压电陶瓷纳米台-上海纳动纳米位移技术有限公司

产品描述

PS3L90-100UA系列为XYZ轴运动纳米位移台。Z轴设计为500微米大行程运动，方便样品移动，可选配内部位置传感器进行闭环，可进行重复的位置测量。

压电位移台可提供SGS传感器反馈或无反馈（开环）。 对于需要紧凑的尺寸，高动态性和亚纳米级的定位分辨率，但又不需要的定位精度和可重复性的应用，开环提供了一种经济高效的选择。 在通过外部反馈源（干涉仪，视觉系统，光电探测器等）控制压电位置的情况下，也可以使用开环设计。

产品特性

—XY位移100μmx100μm

—多种负载安装孔位

—500微米Z轴大行程设计

—无磁材质

选配功能

—可定制孔位及转接装置

—可选PZT&Sensor连接器及线缆长度

—可选配闭环(SGS) 位置反馈系

—可定制其他材质

应用领域

—原子力显微镜、扫描探针显微镜

—测量、计量

—光学探针、光学扫描、光束对准

—光通信技术

                   结构原理                                   位移特性                                    典型应用

PS3L90-100UA系列技术参数